2023年3月31日至4月3日,2023国际显示技术大会(2023 International Conference on Display Technology, ICDT 2023)在中国江苏省南京国际展览中心举办。此次大会以“涵盖新型显示技术领域及智能制造技术的最新进展”为主题,旨在积极推进全球范围内尤其是中国显示技术领域的研究与发展。有包括学术界知名学者和企业高层管理人员在内的众多知名人士做主题报告。研讨会报告近450个,覆盖17个技术领域。五邑大学应用物理与材料学院、柔性传感材料与器件研究开发中心刘贤哲博士带领课题组学生参加会议,提交了学术墙报并作口头报告。
图1 刘贤哲博士正在做学术报告
刘贤哲博士在此次会议中作了题为“Research on oxide thin film transistors for wearables sensors”的口头报告。报告中刘贤哲博士首先介绍了柔性传感器的发展与应用,由于柔性传感器具有可拉伸、压缩、弯曲,以及能够无隙贴覆在非平整被测物表面的特点,使其在穿戴电子、智能机器人、健康检测、仿生电子皮肤、人机交互等领域具有非常好的前景。目前大多数传感器仍在使用无源被动式传感单元,设备的功耗和精度面临巨大挑战,而有源矩阵薄膜晶体管 (TFT)背板可以有效降低可穿戴电子器件的信号串扰和功耗。接着介绍高质量的溶液处理金属氧化物薄膜晶体管通常在高温 (>400℃)下获得,这对与柔性塑料基板的兼容性是一个挑战。之后详细介绍了柔性有源矩阵TFT背板中氧化物半导体和氧化物介电层的背景与研究成果。最后着重介绍了五邑大学柔性传感材料与器件研究开发中心开发的智能可穿戴鞋垫系统,对柔性有源矩阵TFT背板与柔性传感器相结合开发新一代低功耗,低串扰,高集成度的传感器有重要意义。
在学术墙报中刘贤哲博士带领研究生陈澳研究了高k氧化锆介电薄膜的低温退火过程。结果表明,电烤箱(EO)和深紫外(DUV)辐照处理退火过程可以获得与热退火相似的介电性能。EO和DUV辐照过程有效地促进了M-O框架,消除了自旋涂层薄膜中的氧缺陷,从而具有良好的低漏电流性能。因此,将低温热退火与EO和DUV辐照相结合,有潜力实现快速、低温生产高质量、柔性的氧化物电子器件。
图2 学术墙报展览
在创新创业项目路演中,应用物理与材料学院、柔性传感材料与器件研究开发中心研三学生李晓炎作题为“可穿戴智能足部运动健康显示识别系统”项目汇报。汇报指出现阶段人们对健康及生活品质有着越来越高的追求,但国内触觉传感器技术专利不多。为了填补这方面的技术缺口,五邑大学柔性传感材料与器件研究开发团队开展原创性研究,从传感器定量分析、范围检测、响应时间和防水测试系统等方面验证了传感器的技术优势,制备出高空间分辨率的智能鞋垫,最后提出健康显示识别方法并建立系统,在人机交互领域系统和智能终端等领域取得突破性进展。路演中研究生与显示领域学者就可穿戴智能足部运动健康显示识别系统展开热烈交流,并在创新创业项目路演中获得创新奖。
图3 李晓炎在创新区展示
图4 创新创业项目路演创新奖
ICDT是国际信息显示学会(SID)在美国境外举办的唯一一个独立品牌的国际显示技术会议。
图5 刘贤哲博士与参会学生合照