型号

Q150V S Plus

放置地点

继续教育学院104

负责人

徐晓龙/王向科

联系方式

15656017000/13424924251

使用方式

培训预约使用

主要技术指标

1. 真空系统：5m3/hr旋转机械泵＋70L/s风冷涡轮分子泵（仪器内部）；系统极限真空度为1 x 10-6 mbar；溅射工作真空范围：镀金时真空在5x 10-3和1 x 10-1mbar之间；

2. 溅射电流：0-150mA连续可调；采用低电压恒流冷溅射方式；

3. 溅射时间：可预设溅射时间；一次真空条件下1-3600秒连续可调；

4. 溅射靶材：标配直径57mm圆片铬靶1块。

研究领域

制备各类金属、非金属的功能性薄膜。

测试内容

无

管理办法

□有 □无

委托测试单

□有 □无

仪器状态

正常