有机金属真空热蒸镀仪+手套箱FS500-S16

仪器主要功能用途及参数

主要功能用途：用于蒸发镀膜，用于高效率OLED器件的设计与制备、光电器件性能分析、光电能量转换机理、半导体薄膜表面与界面的研究。

核心参数：

1. 样品架系统：样品盘可容纳4个32mm ✖️ 32mm的蒸镀基片，可真空下切换掩膜；基片盘可旋转，转速0-30转/分可调；

2. 蒸发沉积系统：16组蒸发源，可蒸镀有机和金属材料；4套可编程直流电源，满足4源共蒸；

3. 真空系统：极限真空优于3.5✖️10^-5 Pa；从常压到5✖️10^-4 Pa不超过15min；

4. 手套箱系统：水氧含量小于1ppm；

测试内容及领域：

有机、金属材料真空镀膜、器件制备。

应用领域：

光电技术（OLED显示/照明、有机/钙钛矿太阳能电池）

微电子（薄膜晶体管、金属电极、超导器件）

光学涂层（增透膜、高反膜、滤光片）

前沿科研（低维材料、量子点器件、表面科学等）

注意事项（仪器使用和样品制备）

一、预约测试与使用

1. 培训：操作者必须经过系统性的正规培训，并通过考核获得独立操作资格。未经许可严禁操作仪器。

2. 提前预约：严格按照实验室管理系统提前预约，并遵守时间安排。完成制备后及时在系统中结束预约。沟通与准备：预约时需明确告知蒸镀材料、蒸镀厚度等信息，以便管理员确认方法兼容性。

二、 样品制备注意事项

1. 样品本身

相容性：样品必须满足仪器的蒸镀要求，制备样品时需提前做膜厚标定，保证样品制备膜层与需求一致。

2. 上机前准备：材料及样品准备完成后放入仪器中，确保仪器运行后真空度低于5✖️10^-4 Pa后进行蒸镀工作。

3. 制备结束：实验完成后，确认材料源降温结束后，充氮气破真空，取样完成关闭腔门。

主要配件及拓展功能

仪器操作指引：

具体仪器操作，请联系管理人员查阅仪器说明书。