探测器和TFT测试系统

放置地点

继续教育学院304

负责人

李俊

仪器生产厂家及型号

广东艾维特 FS-Pro LABIV-4 7-LT250-W30-FW6

仪器研究方向

有机光电半导体材料

仪器主要功能用途及参数

一、半导体参数分析仪

1. 技术指标系统具备不少于3个高精度源测量单元（SMU）单元 及1个预留接口; 

2. SMU 可进行快速 I-V-T 采样，采样率可达 1.8M，存储量可达≥10 万个点; 

3. SMU 的最大电压源≥200 V，最小电压测量分辨率≤0.2uV，电压测量精度≤0.016%+30mV; 

4. 最大直流功率≥20W，最大脉冲功率≥400W，脉冲模式下的最短脉冲

5. 半导体参数分析仪主机含嵌入式 PC：操作系统至少要 Windows 10 或者以上，图形化全套测试软件，至少要有一个接口可以外接显示器；

6. 最大直流功率≥20 W，最大脉冲功率≥400 W，脉冲模式下的最短脉冲宽度≤50μs;

二、探针平台（包含显微镜）

1. 满足 I-V/C-V，PIV 测试，光电测试等，最大可用于 4 英寸以内样品测试，同轴丝杠传动结构，线性移动；

2. 水平旋转：可360 度旋转；可微调 15 度，精度≤ 0.1 度，带角度锁死装置；

3. X-Y 移动行程:≥4 英寸*4 英寸；X-Y移动精度 ≤10 微米；

4. 样品固定:真空吸附；

5. 背电极测试:样品台电学独立悬空，直径约为4 mm 插孔可接背电极；

6. 光学系统: 单筒显微镜 / 体式显微镜 放大倍数≤16X~≥100X； 

7. 移动行程：水平方向绕立柱 360 度旋转，Z 轴 50.8 mm。

三、探针座

1. 尺寸: ≤115 mm 长*100 mm 宽*112 mm 高；

2. 磁力吸附:带磁力开关；

3. X-Y-Z 方向的移动行程分别为 ≥12 mm； 

4. 瑞士制造精密牙具 移动精度 ≤0.7 微米。 

测试内容及领域

器件开关特性、迁移率和稳定性等。

注意事项（仪器使用和样品制备）

1. 预约提前两天，上机须经过培训。

2. 样品尺寸不超过4英寸。

3. 注意电压安全、环境控制、偏压应力和封装保护。

主要配件及拓展功能

1. 管状夹具共3套；

2. 管状夹具的要求：漏电精度＜100fA，最大可耐电流≥10 A，最高可耐电压≥1500 V，并配有≥2.1 m的三轴双屏蔽线缆，接头和客户设备配套。

3. 静音无油真空泵1台；

4. 钨钢探针一套；

5. CCD相机1台；CCD相机的参数须满足：≥1200万像素、分辨率≤2.8 微米*2.8 微米、图片分辨率≥1920x1080、动态反应速率≥60 帧/秒和可实现无线控制。

6. 屏蔽箱1个；

7. 水平光纤保持架1个；

8. 垂直光纤保持架1个；

9. 单波长可调单色光源系统一套；光谱范围 ≤200 nm~≥2000 nm，电子快门的精确度 ≤1 ms，全自动控制。

10. 双光栅扫描单色仪1台：最小步距:≤0.0045 nm；光栅有效使用面积:≥30 mm×30 mm。

11. 光源 1 台 ：电功率≥300 W, 光谱范围 ≤200nm~≥2500nm, 最高光功率≥4000 mw/cm²。并配有六档电动滤光片轮 1 件（配 3 片滤光片），在测试过程中自动控制滤光片的更换。

12. 测试软件1套。

仪器操作指引：

     见操作指南文件。