欢迎光临五邑大学-应用物理与材料学院
仪器名称：磁控溅射镀膜系统
型号：FJL450E磁控与离子束复合溅射设备
应用范围：磁控溅射技术是利用带电离子在电磁场的作用下，轰击靶物质，被溅射出来的原子以一定的动能射向衬底，在衬底上形成薄膜。磁控溅射的特点是：对多种材料有效、沉积速率高、低能溅射。
